電子級三氯氫硅
電子級三氯氫硅:實現在國內半導體領域的批量銷售。
項目
| 指標 |
外觀
| 無色透明液體 |
純度
| ≥99.99% |
雜質含量ng/g(ppb)≤ | 硼+鋁(B+AI) | ≤0.10 |
磷+砷+銻(P+As+Sb) | ≤0.20 |
鐵(Fe) | ≤3.00 |
鎳(Ni) | ≤0.80 |
鉻(Cr) | ≤1.00 |
釩(V) | ≤0.01 |
錳(Mn) | ≤0.20 |
鉬mu(Co) | ≤0.02 |
銅(Cu) | ≤0.05 |
鈷(Mo) | ≤1.00 |
SiH2Cl2含量 | ≤0.002% |
SiCl4含量 | ≤0.004% |
SiH3Cl含量 | ≤0.004% |
總碳含量 | ≤1ppm |
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86-25-56209579
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