幾何參數 | ||
| 參數 | 尺寸范圍 | 公差 |
| 直徑 單晶最大直徑 多晶最大直徑 | ≤105 ＞105 Mono- ≤350 Poly- ≤400 | ±0.02 ±0.03 |
| 厚度 | ±0.02-±0.05 | |
| 平整度 | ±0.02 | |
| 平行度 | ＜φ100 ＞φ100 ＞φ150 | ±0.02 ±0.04 ±0.05 |
| 邊緣厚度變化（差） | 標準 0.05 特殊 ＜0.03 | |
| 垂直度 | ≤φ200 | ≤0.03 |
| 圓度 | ≤φ105 ＞φ105 | ≤0.01 ≤0.03 |
| 曲率半徑 | 標準 △Sag＜0.02 特殊 △Sag＜0.01 | |
| 中心厚度 | 標準 ±0.05 特殊 ±0.02 | |
| 邊精加工、倒角 | 0.2-1.5 | |
| 表面精加工 | 標準 Ra 1.27 特殊 Ra 0.5 | |
| 崩邊 | 倒角 不倒角 | ＜0.3 ≤0.5 |
| 中心偏差 | ≤0.05 | |
