幾何參數 | ||
參數 | 尺寸范圍 | 公差 |
直徑 單晶最大直徑 多晶最大直徑 | ≤105 >105 Mono- ≤350 Poly- ≤400 | ±0.02 ±0.03 |
厚度 | ±0.02-±0.05 | |
平整度 | ±0.02 | |
平行度 | <φ100 >φ100 >φ150 | ±0.02 ±0.04 ±0.05 |
邊緣厚度變化(差) | 標準 0.05 特殊 <0.03 | |
垂直度 | ≤φ200 | ≤0.03 |
圓度 | ≤φ105 >φ105 | ≤0.01 ≤0.03 |
曲率半徑 | 標準 △Sag<0.02 特殊 △Sag<0.01 | |
中心厚度 | 標準 ±0.05 特殊 ±0.02 | |
邊精加工、倒角 | 0.2-1.5 | |
表面精加工 | 標準 Ra 1.27 特殊 Ra 0.5 | |
崩邊 | 倒角 不倒角 | <0.3 ≤0.5 |
中心偏差 | ≤0.05 |